隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的不斷發(fā)展,產(chǎn)品的要求更*密、集成度更高是行業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)。目前,制造工藝已經(jīng)進(jìn)人亞納米時(shí)代,線寬都在30-180納米之間,對(duì)生產(chǎn)設(shè)備的精度要求越來(lái)越嚴(yán)格,因此,除了設(shè)備本身的工藝水平需要達(dá)到生產(chǎn)要求以外,其所處的生產(chǎn)環(huán)境風(fēng)淋間的各項(xiàng)指標(biāo)也應(yīng)該被嚴(yán)格地控制,包括:潔凈度、溫濕度、照度、氣流方向、振動(dòng)靜電、磁場(chǎng)以及有害氣體等。其中的溫濕度控制是重點(diǎn),其控制的效果直接影響著生產(chǎn)的優(yōu)良率。目前無(wú)菌罐裝間對(duì)溫濕度的控制范圍通常為:溫度22/-0.5℃,濕度45+/-3%RH。本文通過(guò)對(duì)現(xiàn)有潔凈室溫濕度控制系統(tǒng)的研究,引入模糊控制,以提高溫濕度控制的實(shí)際效果。
(1)、潔凈室溫度控制
空氣一次加熱又稱(chēng)預(yù)加熱,是用來(lái)加熱新風(fēng)或加熱新風(fēng)與一次回風(fēng)的混合風(fēng)。一次加熱一般只用于冬季很冷的地區(qū),防止新風(fēng)與一次回風(fēng)混合后達(dá)到飽和,產(chǎn)生水霧或結(jié)冰。一次加熱還應(yīng)用于一次混合不允許變動(dòng)的超凈空調(diào)系統(tǒng)中。當(dāng)采用蒸氣或熱水進(jìn)行加熱時(shí),一般采用控制蒸氣或熱水的調(diào)節(jié)閥開(kāi)度實(shí)現(xiàn)溫度控制;當(dāng)采用電加熱時(shí),通過(guò)晶閘管電力控制器,控制其加熱電功率實(shí)現(xiàn)溫度控制。
(2)、潔凈室濕度控制
A、除濕(干燥)處理及控制空氣冷卻干燥處理常用表冷器來(lái)完成。表冷對(duì)空氣的處理的等濕冷卻二種處理過(guò)程。采用表冷器進(jìn)行濕度控制時(shí),是通過(guò)調(diào)節(jié)表冷器的冷媒(如冷凍水)流量來(lái)實(shí)現(xiàn)。當(dāng)濕度高于要求的值時(shí),可通過(guò)加大冷水閥的開(kāi)度來(lái)加大其流量,實(shí)現(xiàn)除濕(即干燥)處理;反之減少流量,實(shí)現(xiàn)加濕處理。應(yīng)該說(shuō)明的是,由于空氣的物理性質(zhì),其濕度的全制相對(duì)比較氨雜,方法也較多。而且,空氣的溫度和星度二個(gè)參數(shù)在調(diào)節(jié)過(guò)程中又相互影響。如某些原因使室內(nèi)溫度升高,引起空氣中水蒸汽的飽和分壓變化,在**含是量不變的情況下,將使相對(duì)濕度減少。因此,對(duì)其中某一參數(shù)進(jìn)行調(diào)節(jié)時(shí),也會(huì)引起另一參數(shù)的變化。例如在夏季采用表冷器進(jìn)行除濕調(diào)節(jié),開(kāi)大冷水時(shí),在使?jié)穸然謴?fù)正常的同時(shí),也使溫度降低。因此,在工藝設(shè)計(jì)和自控方案設(shè)計(jì)時(shí)都應(yīng)充分考慮到這一特點(diǎn)。
B、加濕處理及控制潔凈室空調(diào)工程中,加濕操作一般是在冬季或過(guò)渡季節(jié)空氣干燥時(shí)進(jìn)行??諝饧訚竦姆椒ū容^多。通常采用蒸汽加濕器和電加濕器的開(kāi)關(guān)控制或功幸調(diào)節(jié)。蒸汽加濕時(shí),根據(jù)濕度控制要求,可通過(guò)對(duì)電滋閥進(jìn)行位式控制或采用二通調(diào)節(jié)閥的連續(xù)調(diào)節(jié)來(lái)實(shí)現(xiàn)。
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