蕞低溫度

控溫范圍

配置

5K（液氦）

5.5K-500K

標(biāo)準(zhǔn)樣品托

78K（液氮）

80K-500K

標(biāo)準(zhǔn)樣品托

65K（液氮減壓）

66K-500K

標(biāo)準(zhǔn)樣品托

溫度范圍

穩(wěn)定性

蕞低溫不控溫

±0.01K

<10K

±0.1K

10K-100K

±0.1K

100K-250K

±50mK

251K-350K

±50mK

351K-500K

±10mK

溫度

保持時(shí)間（液氦）

保持時(shí)間（液氮）

6K

1h

78K

0.5h

3h

100K

20min

2h

200K

15min

1.5h

300K

10min

1h

注:儲(chǔ)槽400ml，-次性加滿

室溫

<5X10^-3Pa

蕞低溫

<5X10^-4Pa

最高溫

<5X10^-2Pa

注：以上數(shù)據(jù)使用600L渦輪分子泵組得到

X方向

<1µm

Y方向

<1µm

Z方向

<1µm

樣品座傳感器加熱器

液氦：硅二極管傳感器、25Ω單頭加熱器功率50W

液氮：PT100傳感器、25Ω單頭加熱器功率50W

溫度控制

控溫儀型號(hào)

液氮：斯坦福CTC100四通道溫度控制器

液氦：LH101單通道低溫控溫儀

支架

支架尺寸

垂直支架：長(zhǎng)寬高200x200x400mm，恒溫器垂直朝上放置，可選配其它支架

真空腔體

真空腔體材料

316不銹鋼或鋁本色氧化

接口集合材料

316不銹鋼

真空抽口

KF25

真空閥門(mén)

90°旋塞閥門(mén)

放氣閥

手動(dòng)放氣閥

控溫接口

6芯真空接口

測(cè)試接口

8芯DC真空接口（可選其它類型接口）

測(cè)試引線

DC直流低溫引線8根（可選低溫同軸線），最多支持24根測(cè)試引線

防輻射屏

材料

銅鍍金

樣品托

材料

無(wú)氧銅鍍金

形式

插拔

芯數(shù)

8芯（可選更多芯，最多24芯）

抽空泵組

分子泵組

可選（客戶可自備）

機(jī)械泵組

可選（客戶可自備）

配電要求

電壓

220V/50Hz

功率

300W

通用DC

DC接口，DC低溫線

小信號(hào)低噪聲DC測(cè)量

高阻DC

三同軸接口，低溫同軸線

高阻抗低漏電流測(cè)量

RF-1GHz

SMA接口，半剛性低溫同軸線

KHz和MHz級(jí)別的測(cè)量，測(cè)量帶寬高達(dá)1GHz

RF/微波-40GHz

2.92mm（K型連接器），2.92mm半剛性低溫同軸線

可實(shí)現(xiàn)高達(dá)40GHz的測(cè)量，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量

RF/微波-67GHz

1.85mm（Z型連接器），1.85mm半剛性低溫同軸線

可實(shí)現(xiàn)高達(dá)67GHz的測(cè)量，同時(shí)也能實(shí)現(xiàn)兼容DC測(cè)量

光纖探針

FC/APC或SMA905，低溫光纖

給樣品通光或者從樣品采集光，可選波長(zhǎng)，可選FC/APC或者SMA905接口